随着工业生产技术的发展，测量设备的要求也越来越高，、有着无可比拟的优越性，它们具有准确度高，效率快，可信度高的特点，然而在测量过程中，存在着很多影响测量工作的因素。通过总结发现最常见的有以下三个方面的因素：

影响、三次元测量仪的第一种：压力
测量仪正常气压的前提下，气浮块的浮起间隙约4~12um，空气压力的波动会使气浮块的气浮间隙变化，影响测量重复性。气压严重不足时，会使气浮块不能充分浮起造成与导轨摩擦，轻者影响测量仪运动状态和测量精度，重者会磨损导轨和气浮块，严重损坏测量仪。Z轴采用气动平衡的测量机在气压严重不足的情况下会造成Z轴突然下落的情况，非常危险。所以要尽量保证测量仪气压的稳定。

影响二次元影像仪、三次元测量仪的第二种：油和水
      由于空压机对空气压缩的同时会把空气中的水分子和油分子压缩成水和油，而且空压机本身工作时也需要有润滑油对其机构进行润滑，也使得有一部分润滑油进入压缩空气。进入压缩空气的水和油会随着压缩空气进入到平衡气缸和气浮块。在测量仪工作时水和油附着在导轨上，使导轨的直线度改变。当测量仪不工作时管道中的油滴可能堵塞气浮块的气孔，使气浮块不能正常浮起，造成气浮块与导轨的摩擦，损坏测量仪并使气管老化。管道中的水还会腐蚀气浮块和平衡气缸。

影响二次元影像仪、的第三种：电力系统
      这是对影响二次元影像仪、三次元测量仪，控制系统和电脑系统最有影响的部分，电压不稳定会导致软硬件系统故障。因此，测量设备带有稳压功能的稳压器是非常有必要的。
      精度对二次元影像仪、三次元测量仪来说是一个非常重要的部分，任何一个小的因素都会影响测量精度，因此，我们在使用过程中要十分注重外界环境对测量仪器的影响，尽量将影响最低化。